氣體質(zhì)量流量控制器用途參數

產(chǎn)品型號

D07-9E

產(chǎn)品類(lèi)型

普通型

流量量程

20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm

產(chǎn)品精度

±2％F.S.

重復精度

±0.2% FS

線(xiàn)性

±1％F.S.

響應時(shí)間

≤4sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene

輸入輸出信號

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類(lèi)型

常閉

溫度系數

- 無(wú) -

零點(diǎn)飄移指標

- 無(wú) -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

(0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm）

漏率

1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式

VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿(mǎn)量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿(mǎn)量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿(mǎn)量程≤200slm),雙卡套Φ10

表面化學(xué)成分

- 無(wú) -

表面粗糙度

- 無(wú) -

抗電磁干擾

- 無(wú) -

重量

2.6Kg