氣路系統簡(jiǎn)介
氣路系統產(chǎn)品應用于光伏及半導體領(lǐng)域，在設備工藝管路中實(shí)現對流體的相關(guān)控制（開(kāi)關(guān)、減壓、過(guò)濾、分流、流量控制等），七星流量計的氣路系統可根據客戶(hù)需求提供多種解決方案。
氣路系統
應用場(chǎng)景
一、半導體領(lǐng)域
在集成電路裝備研發(fā)和制造中，氣路系統肩負著(zhù)工藝氣體向腔室的輸送、流量設定、控制特定工藝過(guò)程的重要任務(wù)。例如調壓前段供氣的壓力，對供氣進(jìn)行過(guò)濾器，并且氣路中可能會(huì )直接接觸特氣等介質(zhì)，因此對潔凈度有較高要求。
產(chǎn)品選用半導體高純材料，對于顆粒度有著(zhù)嚴格要求。適用于絕大多數半導體制程設備。
二、光伏領(lǐng)域
在光伏裝備研發(fā)和制造中，氣路系統肩負著(zhù)向長(cháng)晶腔室輸送保壓氣體，保持爐內壓力穩定的重要任務(wù)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1、IGS 設計能力：七星流量計為國內多家半導體客戶(hù)定制開(kāi)發(fā)IGS產(chǎn)品解決方案，在IGS的Block-器件拼搭設計及選型等方面積累諸多經(jīng)驗。
2、全套零部件的解決方案：根據客戶(hù)需求進(jìn)行器件的選，并保證交付的連續供應。
3、高純焊接能力：根據SEMI標準及ASTM標準搭建，可滿(mǎn)足高純凈半導體級焊接需求。
大理石平臺及三坐標顯微鏡
焊縫檢測結果
