D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器可以應用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎款產(chǎn)品，能滿(mǎn)足客戶(hù)流量測控基本需求。
D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器可以應用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎款產(chǎn)品，能滿(mǎn)足客戶(hù)流量測控基本需求。
特點(diǎn)
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 管狀分流，使用壽命長(cháng)
D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數
項目 | D07-7B 型 | D07-7BM 型 | D07-7C 型 | D07-7CM 型 | D07-7K 型 | D07-7KM 型 |
流量規格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
準確度 | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1 % F.S | ±1% F.S |
線(xiàn)性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1% F.S |
重復精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
響應時(shí)間 | 電特性: 10sec; | 10 sec | 電特性: 10 sec; | 10 sec | 電特性: ≤4sec; | ≤4 sec |
氣壓降 | - | <0.01 MPa | - | <0.01 MPa | - | <0.01 MPa |
溫度系數 | - | - | - | - | Zero: ≤±0.1% F.S./℃; | Zero: ≤±0.1% F.S./℃; |
工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.5) MPa | - | (0.1 ~ 0.5) MPa | - | (0.1 ~ 0.5) MPa | - |
大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐壓 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa |
工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
電源 | +15V 50 mA | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA; | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA; | +15 V 50 mA |
重量 | 1.1 kg | 0.92 kg | 1.1 kg | 0.92 kg | 1.1 kg | 0.92 kg |
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