CS200D數字式氣體質(zhì)量流量控制器，采用*傳感器和溫度補償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達到設定值1%以?xún)?，并且低溫度系數可以保證產(chǎn)品適應不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計的響應時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產(chǎn)品*快可在800ms以?xún)冗_到設定流量，響應時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統誤差小化，所需流量更加精準。
CS200D數字式氣體質(zhì)量流量控制器，采用*傳感器和溫度補償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達到設定值1%以?xún)?，并且低溫度系數可以保證產(chǎn)品適應不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計的響應時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產(chǎn)品*快可在800ms以?xún)冗_到設定流量，響應時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統誤差小化，所需流量更加精準。
優(yōu)勢
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線(xiàn)性。
• CS200C產(chǎn)品采用專(zhuān)門(mén)的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達25RA。
• CS200產(chǎn)品嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造，尺寸符合通用的SEMI標準。
• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能強大的免費客戶(hù)端使用軟件。
CS200D數字式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數
CS200 | ||||||
型號 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
閥類(lèi)型 | 常開(kāi)(流量規格 ≤ 30SLM) | 無(wú) | 常開(kāi)或常閉 | 無(wú) | 常開(kāi)或常閉 | 無(wú) |
流量規格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
線(xiàn)性 | ±0.5% F.S. | |||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||
響應時(shí)間 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa | ＜0.02 MPa |
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||
溫度系數 | 零點(diǎn)： ≤±0.05% F.S./℃； | 零點(diǎn)： ≤±0.02% F.S./℃； | ||||
耐壓強度 | 3MPa | |||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||
工作環(huán)境溫度 | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
輸入信號 | 數字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 無(wú) | 數字： RS485 | 無(wú) | 數字： RS485 | 無(wú) |
輸出信號 | 數字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
零漂 | 在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 | |||||
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |||||
表面化學(xué)成分 | 常態(tài) | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） | 常態(tài) | |||
表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
標準接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽(yáng)接頭；雙卡套φ3； | 雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽(yáng)接頭； | ||||
電源接頭形式 | D 型 9 針陽(yáng)接頭；D 型 15 針陽(yáng)接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 | |||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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