D07-19BM 氣體質(zhì)量流量計密封材料：氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
| 產(chǎn)品型號 | D07-19BM |
| 產(chǎn)品類(lèi)型 | 普通型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線(xiàn)性 | ±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 響應時(shí)間 | ≤2sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 10MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類(lèi)型 | - 無(wú) - |
| 溫度系數 | - 無(wú) - |
| 零點(diǎn)飄移指標 | - 無(wú) - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | ＜0.02 MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標準接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿(mǎn)量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿(mǎn)量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 |
| 表面化學(xué)成分 | - 無(wú) - |
| 表面粗糙度 | - 無(wú) - |
| 抗電磁干擾 | CE |
| 重量 | 0.7Kg |
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