IGS金屬隔膜閥應用于IGS的高純度金屬隔膜閥，采用二次熔煉的SUS316L作為閥體材質(zhì)，有多種接口（C-seal和W-seal）可供選擇。
IGS金屬隔膜閥優(yōu)勢：
• 適合高純度工藝供氣生產(chǎn)線(xiàn)
• 閥體材質(zhì)選用二次熔煉的SUS316L，安全可靠
• W-seal和C-seal 可供選擇
IGS金屬隔膜閥技術(shù)參數：
尺寸 | SEMI F83-0304 | SEMI F84-0304 | SEMI F86-0304 |
Cv value( Cv值) | 0.24 | 0.24 | 0.27 |
大使用壓力 | 1.0MPa(G) | ||
使用溫度范圍 | -10～80℃ | ||
外部泄露 | ≦3x10-12 Pa?m3/sec Helium | ||
閥座泄露 | ≦3x10-10 Pa?m3/sec Helium | ||
七星流量計一家專(zhuān)業(yè)提供流量測控解決方案的供應商，傳承在氣體流量測控領(lǐng)域40多年研發(fā)生產(chǎn)實(shí)力，始終以技術(shù)創(chuàng )新為基點(diǎn)，致力于為客戶(hù)過(guò)程控制中精確測量控制氣體的研究；致力于成為**的氣體流量測控產(chǎn)品服務(wù)商；致力于幫助客戶(hù)提升設備性能；致力于實(shí)現核心零部件中國造的產(chǎn)業(yè)夢(mèng)想。
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