CS330質(zhì)量流量控制器是七星華創(chuàng )流量計新研發(fā)的數字型產(chǎn)品，*高流量可達200SLM氮氣，并可實(shí)現數字/模擬控制模式；產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結構形式、大流量、低壓損電磁調節閥、以及*的人工智能機器人金屬表面拋光技術(shù)，可用于測量各種氣體的流量，包括惰性氣體、強腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產(chǎn)品具備精度高、響應速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點(diǎn)，并支持DeviceNet，RS485通訊協(xié)議。

CS200H質(zhì)量流量控制器是七星流量計生產(chǎn)的數字型高溫產(chǎn)品，其電氣和機械部分采用分體式的設計，通過(guò)高溫線(xiàn)纜連接，可以實(shí)現在高溫環(huán)境下工作，能夠滿(mǎn)足復雜多變的半導體測量需求。

CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專(zhuān)門(mén)為大規模集成電路裝備設計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術(shù)指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。

CS100數字氣體質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開(kāi)發(fā)，在擁有恒功率傳感器技術(shù)，數字傳感器平衡技術(shù)，VCP線(xiàn)控制技術(shù)的基礎上，采用客戶(hù)定制化設計，客戶(hù)可根據需要選用符合自身需求的產(chǎn)品，同時(shí)其*創(chuàng )的客戶(hù)零點(diǎn)補唯功能（CGC），能夠解決由于客戶(hù)地線(xiàn)連接導致的MFC精度不準問(wèn)題，使產(chǎn)品更好的適應客戶(hù)環(huán)境。

CS100質(zhì)量流量控制器（流量計）是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開(kāi)發(fā)，在擁有恒功率傳感器技術(shù)，數字傳感器平衡技術(shù)，VCP線(xiàn)控制技術(shù)的基礎上，采用客戶(hù)定制化設計，客戶(hù)可根據需要選用符合自身需求的產(chǎn)品，同時(shí)其*創(chuàng )的客戶(hù)零點(diǎn)補唯功能（CGC），能夠解決由于客戶(hù)地線(xiàn)連接導致的MFC精度不準問(wèn)題，使產(chǎn)品更好的適應客戶(hù)環(huán)境。

CS100質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開(kāi)發(fā)，在擁有恒功率傳感器技術(shù)，數字傳感器平衡技術(shù)，VCP線(xiàn)控制技術(shù)的基礎上，采用客戶(hù)定制化設計，客戶(hù)可根據需要選用符合自身需求的產(chǎn)品，同時(shí)其*創(chuàng )的客戶(hù)零點(diǎn)補唯功能（CGC），能夠解決由于客戶(hù)地線(xiàn)連接導致的MFC精度不準問(wèn)題，使產(chǎn)品更好的適應客戶(hù)環(huán)境。